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液冷制冷机

应用于晶圆测试载物台、chuck的加热及制冷,接纳硅油或氟化液循环精准控温±0.1℃,液冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件。

设备控温规模:-80℃~200℃
Chuck盘面控制温度:-60℃
温度稳定性:±0.1℃
制冷系统:接纳双极压缩制冷系统
定制:可按要求定制-60℃液冷制冷机

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型号

  • 设备名称
  • 制冷方法
  • 操作面板
  • 载冷剂
  • 全密闭系统
  • 介质温度规模
  • 温度精度
  • 温度反响
  • 控温工具
  • 显示区分率
  • 通信协议
  • 外部输入
  • 存储功效
  • 冷凝方法
  • 宁静防护

液冷制冷机

  • PTHC系列低温液冷机
  • 双级复叠制冷
  • 7英寸彩色触摸屏,中文显示,操作简便 、显示直观, 可显示 、纪录 温度曲线和测试数据
  • 氟化液或硅油
  • 管道材质:SUS304,接纳全密闭式结构设计
  • -80℃ ~ 200℃
  • 出口温度±0.1 ℃
  • 设备导热介质温度反响PT100 (回口温度 、 出口温度) ,控晶圆测试chuck盘温度
  • 设备导热介质出口温度 (可选择控制物料温度)
  • 0.01K
  • MODBUS RTU协议、RS 485接口+以太网接口
  • 外置测温传感器端口 、USB数据接口
  • 试验执行时, 可实时显示图形曲线, 显示内容;温度设定实际值,执 行程序周期,程序执行中具有跳文件,坚持功效。
  • 风冷
  • 设备运行状态实时显示,故障信息自动诊断,多项报警;

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