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半导体热电制冷器

半导体热电制冷器又叫做:半导体式冷水机、半导体温控台、精密半导体冷却器,该系统由半导体制冷系统、循环水冷系统、温度控制系统及丈量治具载台等装置组成。广泛应用于半导体行业蚀刻装置,CMP实验室精密装置、高精度测试仪器等等

温控规模10~60℃,可扩展:-20℃~90℃;
控制精度0.05℃,可实现多种差别通讯方法;
可配备独立的控温通道,单通道、双通道、四通道可定制;
具有准时运转、液面下降、水泵防冻给、远程控制、触摸屏操控等功效;
本设备体积小巧,噪音低、耗电低、热效率高。

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  • 设备名称
  • 制冷方法
  • 散热方法
  • 控制方法
  • 循环流体
  • 操作面板
  • 温度控制规模
  • 温度稳定性
  • 制冷量
  • 水箱容量
  • 控温通道数
  • 接口尺寸
  • 通信
  • 噪声
  • 设备重量

半导体热电制冷器

  • 半导体热电制冷器
  • 热电半导体
  • 强制风冷冷却
  • PID算法控制
  • 乙二醇水溶液/氟化液
  • 7寸触摸屏,中文显示,操作简便、显示直观,可显示、纪录温度曲线和测试数据
  • 10~60℃, 可扩展温度规模:-20℃~90℃。
  • ±0.05℃
  • 300~1200W(25℃)
  • 约5L
  • 单通道(双通道,四通道可定制)
  • 进出口 G3/8
  • I/O,ETH,RS232、RS485
  • 60dBA
  • 约20kg

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主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温,装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统组成,接纳先进的控制算法,提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。 在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃,可在-20℃~85℃之间任意控温,有良好的温度稳定性。

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主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统接纳蒸汽压缩式制冷,压缩机及主要制冷部件均接纳国际知名品牌。循环系统包括循环泵、蓄冷容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成?刂葡低辰幽蒔ID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项;すπ,确保设备宁静运行。通过机组自身的制冷与加热,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。

气体制冷晶圆测试
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